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NS-XY100-04 大負載XY二維納米定位平臺
NS-XY100-04是一款高精度大負載二維納米定位平臺，負載可達5kg。閉環(huán)行程可達100x100μm，閉環(huán)分辨率 0.5/0.5nm。
典型應用
• 激光加工 • 光學對準
• 表面分析 • 光學測量
• 顯微成像
關鍵詞:
納米位移平臺
二維平臺
大行程位移臺
高精度位移臺
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